真空泵是從負壓下抽氣、一般在大氣壓下排氣的輸送機械，其目的是造成并維持工藝系統所要求的真空度。煉油和石油化工生產(chǎn)中常用的真空泵有往復真空泵、水環(huán)真空泵和噴射真空泵。

(一)往復真空泵

往復真空泵的構造和作用原理與往復壓縮機基本相同，氣缸內外壓差很小，但其壓縮比很大(例如，對于95%的真空度，壓縮比約為20左右)。因此，往復真空泵的吸入和排出活門(mén)必須輕巧靈活、啟閉方便;其余隙容積必須很小，同時(shí)為了減小余隙中殘余氣體對真空泵抽氣速率的不良影響，常在真空泵氣缸兩頭的內壁上設有連通活塞兩側的平衡氣道，如圖2-58中1所示。在排氣終了時(shí)，平衡氣道能使余隙與活塞的另一側短暫時(shí)間相通，以便使余隙中的殘存氣體通過(guò)平衡氣道流到活塞的另一用側.以降低余隙中氣體的壓力，從而提高了吸氣效率，即提高了容積系數。往復真空泵所產(chǎn)生的極限真空可達2kPa左右(絕壓)。往復真空泵所排送的氣體不應含有液體，如氣體中含有大量蒸氣，必須把可凝性氣體設法除去(一般采用冷凝)之后再進(jìn)入真空泵內，即往復真空泵屬于干式真空泵。

(二)水環(huán)式真空泵

水環(huán)真空泵在吸氣中可允許夾帶少量水，屬于濕式真空泵。水環(huán)真空泵的結構簡(jiǎn)單緊湊，沒(méi)有活門(mén)，工作安全可靠。但它所能產(chǎn)生的真空度不高，最高可達85%的真空度，且因轉子在水中旋轉，將引起額外的摩擦阻力損失，因而效率較低，約為30%~50%。水環(huán)真空泵運轉時(shí)，要不斷地補充清水，以維持泵內液封，同時(shí)也起冷卻泵體的作用。

如將水環(huán)真空泵的進(jìn)口接大氣，出口接設備時(shí)，可作鼓風(fēng)機用，所產(chǎn)生的風(fēng)壓不超過(guò)98kPa(表壓)。

(三)旋片真空泵

如果要獲得較高真空度時(shí)，宜用油封式旋片真空泵，排氣閥浸在油箱中，可以防止氣體回流到氣缸內。氣缸外面設有水套，對氣缸壁進(jìn)行冷卻。

旋片真空泵可達較高的真空度(極限壓力可達0.06Pa)，但抽氣速率比較小，適用于抽除干燥或含有少量可凝性蒸氣的氣體。不適用于抽除含塵和對潤滑油起化學(xué)作用的氣體。

(四)噴射真空泵

噴射真空泵屬于流體作用式機械，它是利用高速流體射流時(shí)壓力能向動(dòng)能轉換所造成的真空來(lái)吸送流體的，既可用來(lái)吸送氣體，也可用來(lái)吸送液體。噴射泵的工作流體如果是蒸汽，則為蒸汽噴射泵;工作流體如果是水或其他液體，則稱(chēng)為水或液體噴射泵。