任何一套真空系統都會存在或多或少的漏氣現象，這跟用戶的工藝環境是分不開的，越是高真空的環境下，漏氣的趨勢也是最大的，這種情況下，用戶所要求的真空度達不到工藝上的要求，是個相當普遍的問題。對真空系統進行檢查，找出漏氣位置，確定漏孔大小，及時排除，這對真空技術人員是很重要的。
真空容器進行長時間抽氣后仍然達不到要求的真空度，可能有以下幾種原因:真空泵和真空機組工作不良、真空系統內材料放氣、真空系統漏氣、漏氣和放氣并存。檢測上述問題的最簡單最常用的方法就是靜態升壓法，不需采用額外的儀器或物質，就可以方便地檢測出被抽容器和系統的總漏率，可以確定問題主要出在什么地方。靜態升壓法就是采用適當的真空計，每隔一定時間測量容器的壓強可以得到壓力-時間曲線。
實際真空肯定是會存在漏氣的，但是真空室漏入氣體總量要是不影響系統的正常工作的話，這種漏氣是可以忽略的。真空系統在正常工作的情況下所允許存在的最大漏氣率成為最大允許漏率。真空冶金過程中，真空泵要持續抽氣用以維持系統的真空度，這種系統只要求其平衡時壓力能夠達到所要求的真空度，存在的漏率也是允許的。
