對于滑閥式真空泵的檢修，一般要對泵徹底解體，全面檢查，測量滑閥與泵體之間的間隙(正常的間隙為0.04~0.12mm);檢查泵內的滑閥、導軌泵偏心輪表面有無裂紋，表面有裂紋，立即更換;泵內的密封件全部更換;在泵動態運行上，可應用振動測試儀,每周對泵的振動情況作了測試，根據所測的數據，就可初步判定軸承、滑閥等部件的磨損情況，在軸承運動精度降低的情況下，就將其更換掉，避免由于軸承的磨損而導致滑閥與泵腔之間的撞擊與摩擦。對修復的機械泵應用真空表，進行極限壓力測試，確定泵的性能和修復效果。對于使用時間長的舊泵，泵的間隙大于0.1mm小于0.2mm，極限真空要求不是很苛刻的，還可選用運動粘度為150mm2/s的真空泵油,也可滿足泵的正常工作。

由于泵腔的磨損，導致滑閥與泵腔之間的間隙大于0.2mm的泵，需要與泵的制造廠家配合，根據泵腔的磨損情況，專門制作滑閥、偏心輪、導軌，使之與泵腔保持正常的間隙;對于泵腔磨損、劃傷嚴重的，抽空時間和極限壓力不能滿足工藝需要的，維修備件費用接近新泵價格一半左右的，已失去維修價值，應更換新的滑閥式真空泵。